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    硅片晶體制絨清洗機

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    產品介紹

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    產品功能:

    ◆爐前清洗:擴散前清洗。
    ◆光刻后清洗:除去光刻膠。
    ◆氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有污點。
    ◆拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的污點。
    ◆外延前清洗:除去埋層擴散后的SIO2及2表面污物。
    ◆合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質及光膠殘渣。
    ◆離子注入后的清洗:除去光刻膠,SIO2層。
    ◆擴散預沉積后清洗:除去預沉積時的BSG和PSG。
    ◆CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。
    ◆附件及工具的清洗:除去表面所有的玷污物   


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